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    全方位離子注入/真空電弧/磁控濺射真空鍍膜設備

    2009年 應用技術
    • 成果簡介
    當前真空表面改性技術,日益向集成化、多功能化的方向發展。本項目是在磁控濺射技術、多弧離子鍍技兩種鍍膜方法的基礎上,結合先進的全方位離子注入技術,進行等離子體復合表面改性的新技術。項目利用近年來我國防工業支持的航天飛行器表面改性技術的研究成果,結合國內外表面改性技術的最新發展,實現包括大閉環磁控濺射技術、全方位離子注入技術、彎曲電弧磁過濾技術的復合等離子體增強沉積。
    與傳...

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