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    高性能薄膜壓力傳感器

    2008年 應(yīng)用技術(shù)
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    該項目是以北京國浩微磁電子智能傳感器技術(shù)研究所為主導(dǎo),清華大學(xué)、北京科技大學(xué)、中國人民公安大學(xué)參與研究的國家863計劃項目。產(chǎn)品采用低能加速器轟擊動能轉(zhuǎn)換搬遷原子淀積薄膜技術(shù),將納米薄膜應(yīng)變電阻直接制作在金屬彈性體上,實現(xiàn)了敏感元件與彈性體的原子結(jié)合,解決了傳統(tǒng)傳感器因敏感元件與彈性體之間受力滑動產(chǎn)生的零點漂移而導(dǎo)致的不穩(wěn)定、不可靠的問題,真正實現(xiàn)了在高溫、高壓、惡劣環(huán)境下的長期穩(wěn)定性和高...

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