2008年 應(yīng)用技術(shù)
矩形相位光柵應(yīng)用十分廣泛，如光譜學(xué)、光波導(dǎo)耦合器、波長(zhǎng)多路調(diào)節(jié)器和解調(diào)器件、VCD、DVD和CDROM信號(hào)讀出頭用光柵以及制作光纖光柵的相位掩模板等都要用到矩形相位光柵。目前制作矩形光柵的主要技術(shù)是刻蝕技術(shù)，它包括反應(yīng)離子刻蝕法（RIE），離子束銑削，電子回旋共振刻蝕法（ECR）以及感應(yīng)耦合等離子體刻蝕法（ICP）等，這些方法所用的設(shè)備昂貴，操作復(fù)雜，成本較高。為此華僑大學(xué)信息學(xué)院研制了一...
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