超凈高純電子化學試劑的研制

2010年

應用技術

初期階段

成果簡介

　　簡要技術說明：
　　丙酮研制技術方案是：吸附－干燥－精餾。
　　異丙醇技術方案是：絡合脫水－微濾膜過濾－多級精餾－納濾膜過濾。
　　應用前景：
　　一是用于基片在涂膠前的濕法清洗，二是用于在光刻過程中蝕刻及最終的去膠，三是用于硅片本身制作過程中的清洗。在集成電路（IC）的加工過程中，超凈高純試劑主要用于芯片及硅圓表面的清洗和刻蝕，其純度和清洗度對...

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超凈高純電子化學試劑的研制

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