本成果自主開發(fā)了高壓集成工藝及技術(shù),立足于國內(nèi)加工線,在8~10μm和25μm的不同外延層厚度條件下,分別實(shí)現(xiàn)了800V級(jí)具有欠壓保護(hù)的高壓驅(qū)動(dòng)集成電路。其主要技術(shù)性能指標(biāo)為:最高工作電壓大于800V,頻率達(dá)240kHz以上,輸出電流0.5A。主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際高壓集成電路的同等水平。
本成果同時(shí)建立了800V的高壓CD工藝平臺(tái),完成了高低壓兼容工藝技術(shù),高壓集成電路...
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