2009年 應(yīng)用技術(shù)
初期階段 本發(fā)明提供一種鐵電薄膜材料ⅰ－ⅴ特性的測(cè)量方法及裝置，屬于鐵電薄膜材料測(cè)試領(lǐng)域。本發(fā)明的裝置包括樣品臺(tái)、探針臺(tái)、靜電計(jì)、屏蔽罩、計(jì)算機(jī)及自動(dòng)控制和數(shù)據(jù)處理軟件，本發(fā)明的測(cè)量方法采用自編軟件實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制測(cè)量以及數(shù)據(jù)采集和處理，測(cè)得的鐵電薄膜材料在不同電壓下的漏電流值更接近于樣品的真實(shí)漏電流值。本發(fā)明綜合考慮了鐵電薄膜材料的自發(fā)極化電流、介質(zhì)極化電流、漏電流以及老化電流對(duì)ⅰ－ⅴ特性測(cè)量的影響，...
|
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
