光柵的制備是研制分布反饋激光器的重要關(guān)鍵。對(duì)同一周期的光柵,不同的形貌,即不同的深度、占空比以及光柵輪廓都會(huì)影響光柵的耦合效率和波導(dǎo)損耗,從而改變激光器的邊模抑制比和輸出功率。因此,發(fā)展一種制備中紅外波段半導(dǎo)體單模分布反饋量子級(jí)聯(lián)激光器光柵的技術(shù)成為當(dāng)務(wù)之急,為此我們選用全息技術(shù)制備光柵,通過精確控制兩束相干光束的夾角得到高精度的光柵周期,發(fā)明了相關(guān)的光柵制備工藝和在線監(jiān)控技術(shù)。而且與傳統(tǒng)的制...
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