一種基于雙材料效應(yīng)的微機械紅外探測器陣列的制作方法

2009年

應(yīng)用技術(shù)

成熟應(yīng)用階段

成果簡介

本發(fā)明涉及一種新的基于雙材料效應(yīng)的微機械紅外探測器陣列的制作方法，其特征在于采用硅作為犧牲層，采用SiO2、SiNx、SiC、Au、Al及Cr等XeF2氣體幾乎不腐蝕的材料來制作像素的雙材料支撐梁和紅外敏感部分，采用SiO2、SiNx、SiC、Au、Al及Cr等XeF2氣體幾乎不腐蝕的材料制作錨或?qū)﹀^進行保護，最后采用XeF2氣體腐蝕硅犧牲層釋放像素。本發(fā)明具有以下積極效果和優(yōu)點：一方面采...

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一種基于雙材料效應(yīng)的微機械紅外探測器陣列的制作方法

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