微梁直拉直壓結構壓阻微機械陀螺及制作方法

2009年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

本發明涉及一種微梁直拉直壓結構的壓阻微機械陀螺及制作方法，其特征在于將加速度計作為陀螺的科里奧利加速度檢測部分，把兩個加速度計放在扭轉驅動結構兩側，形成類似音叉原理的微機械陀螺；使用壓阻四端器件，檢測、控制陀螺的驅動幅度，實現陀螺靈敏度的溫度自我補償。其制備工藝是將體硅工藝和表面硅工藝相結合，用深反應離子刻蝕工藝完成主梁、微梁、扭轉梁和質量塊制作，最后將陀螺和蓋板對準粘在一起完成制作。本發...

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微梁直拉直壓結構壓阻微機械陀螺及制作方法

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