2009年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 本發(fā)明涉及一種翹曲膜結(jié)構(gòu)的單刀雙擲射頻和微波微機(jī)械開關(guān)及其制作方法。由第一基板上的第一凹部、位于第一凹部底部以及第一基板表面上的第一波導(dǎo)線、第一凹部底部的第一吸引電極、第一基板表面上的轉(zhuǎn)換導(dǎo)體、第二基板上的第二凹部、位于第二凹部底部以及第二基板表面上的第二波導(dǎo)線、第二凹部底部的第二吸引電極、懸于第一凹部和第二凹部之間的翹曲彈性介質(zhì)膜、翹曲彈性介質(zhì)膜上的驅(qū)動(dòng)導(dǎo)電膜以及其上的第二介質(zhì)膜構(gòu)成的復(fù)合膜...
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