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    一種無損檢測磷化銦與砷化鎵基材料直接鍵合質量的方法

    2009年 應用技術  初期階段
    • 成果簡介
      曾被用于Si基材料的直接鍵合技術近年來在Ⅲ-Ⅴ族材料的組裝中得到了廣泛應用。與傳統外延技術如MBE、MOCVD相比,直接鍵合過程不會在外延層中額外地引入線位錯,這是使該技術在組合不同材料結構中得以應用的重要原因;然而直接鍵合也帶來不利的影響,如鍵合過程在異質材料界面附近引入大量的邊位錯群,對電學、光學性質產生影響,同時退火過程引起缺陷、納米量級微空位擴散、遷移致外延層結構使其性能變差,而且退火...

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