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    基于微電磁驅動器的MEMS光開關研制

    2001年 應用技術  中期階段
    • 成果簡介
    本項目在單位微馬達研究的基礎上，設計一種MEMS擺動式電磁型微驅動器，并用該驅動器驅動一高反射鏡，以實現光路的切換來達到光信息的傳遞。該光開關有體積小，可靠性高，可批量化生產，其具體技術指標如下：
    性能強度 1×2光開關 1×4光開關
    開關時間 ＜5ms ＜5ms
    工作壽...
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