TDR80A-ZJS型全自動晶體生長爐

2008年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　一、簡要技術說明及主要技術性能指標：
　　全自動晶體生長爐是一種高效率制備硅單晶體的設備，它主要完成硅多晶體轉換為單晶硅棒環節。它將多晶硅料在石英坩堝內進行高溫熔化，在嚴格的真空度和氬氣氣氛保護下，通過籽晶插入多晶熔體后，在旁形成過冷態進行有規律結晶生長。控制系統主要控制熔體溫度、晶體拉速、轉速、氬氣流量、真空度、坩堝升速、轉速及其工藝參數的實現。它目前主要用于半導體硅材料與太陽能...

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TDR80A-ZJS型全自動晶體生長爐

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