一種鐵電薄膜材料I-V特性的測量方法及測量裝置

2009年

應用技術

初期階段

成果簡介

本發明提供一種鐵電薄膜材料?。ヌ匦缘臏y量方法及裝置，屬于鐵電薄膜材料測試領域。本發明的裝置包括樣品臺、探針臺、靜電計、屏蔽罩、計算機及自動控制和數據處理軟件，本發明的測量方法采用自編軟件實現自動控制測量以及數據采集和處理，測得的鐵電薄膜材料在不同電壓下的漏電流值更接近于樣品的真實漏電流值。本發明綜合考慮了鐵電薄膜材料的自發極化電流、介質極化電流、漏電流以及老化電流對?。ヌ匦詼y量的影響，...

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一種鐵電薄膜材料I-V特性的測量方法及測量裝置

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