2008年 基礎(chǔ)理論
1．課題來源與背景
為適應(yīng)我國的微電子領(lǐng)域的發(fā)展，國家973項目、863項目、國家自然科學(xué)基金項目近年來先后啟動多種微電子技術(shù)的研究計劃。在此背景下，本課題來源于中南大學(xué)機(jī)電學(xué)院承擔(dān)的973項目高性能電子產(chǎn)品設(shè)計制造精微化數(shù)字化新原理新方法“復(fù)合能場作用下微互連界面的微結(jié)構(gòu)演變規(guī)律”(No.2003CB716202)、國家自然科學(xué)基金重大項目先進(jìn)電子制造中的重要科學(xué)技術(shù)... 
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