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連熔法生產集成電路用厚壁大口徑透明石英玻璃管

2008年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

厚壁大口徑透明石英玻璃管是集成電路制造的重要新材料，并是延升加工擴散管、大型擴散鐘罩、氧化管、CVD管、石英舟、法蘭、石英清洗槽、方缸、石英爐門、舟車、懸壁套管、石英分餾塔、球形接頭、點火裝置、耐高溫涂層、石英玻璃儀器器皿等的重要材料，又是在擴管機上擴成更大管徑或縮成更厚壁厚石英管的原材料。其技術原理是在生產燈用小口徑石英管生產線基礎上，經過技術、工藝、設備的研究創新改造而來，它采用縣內優...

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連熔法生產集成電路用厚壁大口徑透明石英玻璃管

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