2008年 應(yīng)用技術(shù)
初期階段 微機電系統(tǒng)（MEMS）作為一個新興的研究領(lǐng)域，涉及力學(xué)、材料、物理、化學(xué)等多個學(xué)科，屬于多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，引起了國內(nèi)外的廣泛關(guān)注。微器件表面之間粘附現(xiàn)象的存在，嚴重影響著微器件產(chǎn)品的性能及其可靠性。為提高產(chǎn)品的可靠性。該課題通過進行了大量調(diào)研，開展理論研究并結(jié)合實驗分析，建立的粘附理論模型，對現(xiàn)有模型作出了完善；通過對不同加工工藝獲得的同種材料表面進行表面性能的測試，分析了不同加工...
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