工業型脈沖直流等離子體化學氣相沉積工模具表面強化設備

2002年

應用技術

中期階段

成果簡介

屬國家八六三計劃新材料領域資助項目，以西安交大為項目完成單位，聯合北京航天航空大學自主研制出高技術的工業生產氣相沉積設備，真空爐體選用鐘罩式結構，利用自重密封，氣密性好，真空極限達1帕，爐體內安裝加熱系統，實現內熱式而非馬弗式加熱，此為我們首創的設計，顯著提高了加熱的效率，爐體設計溫度700度，上下溫差不超過10度，陰極引入電極采用小間隙的雙屏云母構成，由此為處理工件通入高壓脈沖直流并對其...

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