基于MOEMS無阻塞16×16陣列光開關

2004年

應用技術

成果簡介

“基于MOEMS無阻塞16′16陣列光開關”項目是上海光機所信息光學實驗室和上海交通大學微納米技術研究院聯合承擔國家863計劃項目，在該項目的研制過程中，課題組特別注重光開關器件的可靠性和穩定性工藝技術的深入研究，在陣列光開關的整體結構設計、基于MEMS的微電磁執行器制備、微光學雙面反射鏡制備、光纖準直器的固定封裝工藝、多路對多路矩陣光開關的精密裝配技術、陣列光開關的組封裝和無阻塞算法等方...

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基于MOEMS無阻塞16×16陣列光開關

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