2004年 應(yīng)用技術(shù)
由光激發(fā)器、微結(jié)構(gòu)氣敏芯片和定位臺(tái)組成，其中光激發(fā)器由照明光源、會(huì)聚鏡、單色儀和聚焦透鏡組構(gòu)成，以提供頻率和強(qiáng)度可調(diào)的激發(fā)光束，照明光源發(fā)射出的光束經(jīng)會(huì)聚鏡聚焦，再通過(guò)單色儀成為頻率可調(diào)的單色光，經(jīng)過(guò)聚焦透鏡組會(huì)聚照射在微結(jié)構(gòu)氣敏芯片上，微結(jié)構(gòu)氣敏芯片由硅基底、叉形電極和覆蓋在叉形電極上的半導(dǎo)體氧化物敏感膜構(gòu)成，并固定在定位臺(tái)上。通過(guò)調(diào)節(jié)光激發(fā)器出射光束的頻率和強(qiáng)度，聚焦照射在微結(jié)構(gòu)氣敏芯...
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