基于超聲波理論的電鍍金剛石線鋸切割技術

2008年

應用技術

成果簡介

應用超聲波下的電鍍金剛石線鋸的高效精密切片技術與目前采用的切片技術相比具有很大的優越性，是面向下一代IC制造的大尺寸硅晶體切片的先進技術。這項新技術的研究與應用涉及到聲學、機械學、電子技術、材料學、摩擦學、晶體物理、微觀力學等基礎理論和超硬磨料工具制造、精密加工和加工過程控制等工藝技術，是多學科交叉的研究課題。本項技術應用基于超聲原理的電鍍金剛石線鋸高效精密硅晶體切片的基礎理論和關鍵工藝技...

相關成果

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基于超聲波理論的電鍍金剛石線鋸切割技術

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