深反應離子刻蝕技術中可動結構的犧牲層保護方法

2004年

應用技術

中期階段

成果簡介

本發明公開一種深反應離子刻蝕技術中可動結構的犧牲層保護方法，針對深反應離子刻蝕技術在制作具有可動結構的器件中出現的可動結構釋放后即受到較大破壞的問題，采用犧牲曾固定可動結構，使器件可動結構在進行深反應離子刻蝕工藝時始終保持靜止不釋放狀態以保護可動結構的完整性，而采用后續的無損去犧牲層方法釋放可動結構并最終完成器件的制作，提高可動器件制作中的成品率。...

相關成果

1. 深反應離子刻蝕技術中可動結構的犧牲層保護方法（中科院）
2. 上犧牲層加工方法
3. 采用基于硅襯底突點制作及釋放犧牲層的方法
4. 犧牲層腐蝕仿真軟件模塊
5. 順層瓦斯抽放中深孔控制爆破技術研究
6. 犧牲層固態升華釋放改良設備
7. 用于反應離子刻蝕碲鎘汞微臺面列陣的掩膜層及制備方法
8. 環境友好型長效犧牲陽極保護技術在水工鋼結構上的應用
9. 犧牲層腐蝕技術制造的帶壓敏電阻的納米梁諧振器
10. 犧牲層腐蝕技術制造的帶場效應管的納米梁諧振器
12. 帶有懸空可動敏感結構的靜電鍵合工藝
13. 基于硅襯底無犧牲層的非制冷紅外焦平面陣列的制作方法
14. 犧牲陽極保護陰極防腐蝕儀技術在油井中的應用
15. 海洋工程鋼筋混凝土結構浪花飛濺區犧牲陽極保護技術
16. 基于新犧牲層工藝的熱剪切應力傳感器器件的制作方法
17. 利用波浪式冠層結構生產大豆的方法
18. 玻璃襯底上可動硅微機械結構集成化的制作方法（中科院）
19. 深硬化層冷軋輥新材料
20. 鋼基體表面無熔深堆焊特種金屬層技術

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

深反應離子刻蝕技術中可動結構的犧牲層保護方法

標簽云

猜您想要的成果

相關專家

相關機構


	選擇導出文檔的格式關閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關閉發送短信成功


	提示信息關閉發送短信失敗


	提示信息關閉發送郵件失敗


	提示信息關閉郵件發送成功