硫系化合物相變材料化學機械拋光納米拋光液及其應用

2008年

應用技術

中期階段

成果簡介

用于硫系化合物相變薄膜材料GexSbyTe(1-x-y)化學機械拋光（CMP）的納米拋光液及利用化學機械拋光制備納電子器件相變存儲器的方法。該CMP納米拋光液包含有氧化劑、螯合劑、pH調節劑、納米研磨料、抗蝕劑、表面活性劑及溶劑等。該拋光液損傷少、易清洗、不腐蝕設備、不污染環境，主要用于制造相變存儲器關鍵材料GexSbyTe(1-x-y)的CMP。利用上述拋光液采用化學機械拋光方法去除多余...

相關成果

1. 硫系化合物相變材料化學機械拋光的納米拋光液及其應用
2. 采用硫系化合物納米材料制備相變存儲器器件單元的方法
3. 基于硫系化合物相變材料的限流器及制作方法
4. 一種納米硫系化合物相變存儲器的制備方法
5. 用于相變存儲器的含硅系列硫族化合物相變薄膜材料
6. 含納米晶的紅外硫系玻璃材料及光纖研制
7. 多元硫族化合物納米材料的合成、結構和性質
8. 納米石墨相變儲能復合材料制備技術及其應用技術
9. 鈦酸鋇系PTC納米晶粉體材料及其應用
10. 水熱合成硫屬化合物一維半導體納米材料
12. 新型硫系和硫系鹵化物玻璃及其稀土離子摻雜光電材料研究
13. 新型硫系和硫系鹵化物玻璃及其稀土離子摻雜光電材料研究
14. 有機-無機納米復合相變儲能材料
15. 有機相變物/膨潤土納米復合相變儲熱建筑材料
16. 相變材料
17. 過渡金屬硫族化合物納米材料的超聲和微波法制備及性能研究
18. 稀土磁性材料的磁性相變和納米復合
19. 高純納米硫
20. 氫等離子體制備金屬間化合物納米材料及其應用

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

硫系化合物相變材料化學機械拋光納米拋光液及其應用

標簽云

猜您想要的成果

相關專家

相關機構


	選擇導出文檔的格式關閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關閉發送短信成功


	提示信息關閉發送短信失敗


	提示信息關閉發送郵件失敗


	提示信息關閉郵件發送成功