一種用于氣相沉積的水平式反應器結構

2008年

應用技術

初期階段

成果簡介

本發明涉及一種用于氣相沉積的水平式反應器的結構，其特征在于采用了源氣垂直噴淋供給的方式。該反應器結構由兩組噴淋頭、一路載氣、一個樣品托和一個圓形或者方形的水平腔體構成，整個反應器結構放在水平腔體內，源氣和載氣進氣口和出氣口分別在水平腔體的兩端，使用時反應器水平放置。由于采用垂直噴淋供氣方式，使得兩種反應氣體在混合區很小的情況下也可以實現均勻混合，既保證了外延生長中大面積均勻性的實現，同時也...

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一種用于氣相沉積的水平式反應器結構

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