類金剛石硬質薄膜

2008年

應用技術

成果簡介

類金剛石涂層是一類無定型亞穩態碳材料，具有類似于金剛石的多種優異性能，如高硬度、高耐磨耐蝕性，良好絕緣性、優異生物兼容性、在可見到紫外光范圍內透明及表面光滑等。并且沒有高溫高壓條件下合成金剛石涂層成本高、生長面積小的缺點。
技術特點
類金剛石涂層可在多種氣相沉積的低溫條件下順利進行，且依制備工藝技術不同，類金剛石涂層的性能可依應用需求在最軟石墨和最硬...

相關成果

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類金剛石硬質薄膜

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