離子束輔助固體表面途層的優化及薄膜工程與技術

2008年

應用技術

成果簡介

低能離子束在固體表面結晶態薄膜形成時具有再激活凝聚原子的作用。理論與實驗證明，當PVD(physical vapordeposition)的束流成分比一定時，沉積層的結構與離子能量有關，“能窗”內的離子可使外延層的結構乃之薄膜的性能得到優化。由此，可控制薄膜為單晶、多晶和無定形結構，有利于制備無素和化合物金屬與半導體薄膜；利用固體表面附近的化學反應（化合與分解）效應，實現了異質結界面上金屬...

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離子束輔助固體表面途層的優化及薄膜工程與技術

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