平行組合離子束技術及其在材料芯片研究中的應用

2002年

基礎理論

成果簡介

本項目的研究內容主要集中在平行組合離子注入技術及其應用研究。應用平行組合技術，結合離子束注入和微米束分析技術，并結合Mask技術和Mark技術進行自對準的離子注入，利用離子激發X射線分析（PIXE）對材料進行微區的二維成份分析（空間分辨率可達1mm），同時結合其它微米束技術如背散射分析（NRS）、溝道效應對材料芯片進行三維、多元素的快速定量分析。研究的材料體系為硅基發光材料。目前發光材料的...

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