SiNx薄膜熱物性參數實驗測量與分析研究

2004年

應用技術

成果簡介

采用一種新的實驗測量方案，將金屬加熱單元與溫度探測單元合二為一，間接獲得了在半導體和徽電子學MEMS領域內有重要用途的SiN，薄膜的導熱系數、發射率、比熱容和熱擴散系數，并對實驗結果進行了不確定度分析，為微電子電路設計和掩模成型工藝等提供了可靠的熱物性數據，實驗結果表明，薄膜的導熱系數、發射率、熱擴散系數遠比相應體材質低，而且還與溫度、厚度有關，尺寸效應顯著，而比熱容則與體材質相差不大。...

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SiNx薄膜熱物性參數實驗測量與分析研究

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