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    薄膜型三氧化二鋁基氣敏材料及傳感器研究

    2005年 應(yīng)用技術(shù)
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    作為人工智能和計(jì)算機(jī)的發(fā)展的必然要求以及信息技術(shù)發(fā)展的迫切需要,傳感器越來越受到人們的普遍關(guān)注。氣體傳感器是傳感器中的一個(gè)重要類別,幾乎在各個(gè)技術(shù)領(lǐng)域中,都涉及氣體傳感器的應(yīng)用。對(duì)傳感器微型化、集成化、效率化和智能化的要求,迫切希望開展薄膜型氣敏傳感器的研究。研制薄膜型氣敏傳感器也被認(rèn)為是解決目前已商業(yè)化的陶瓷氣敏傳感器一致性及相關(guān)問題的最有效的方法。薄膜型三氧化二鋁基氣敏傳感器的研究涉及...

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