DCArcPlasmaJetCVD光學金剛石厚膜生長模型與仿真

2002年

應用技術

成果簡介

獨立自主研制了多種取向金剛石晶體點陣三維多角度可視化軟件、等離子體化學氣相沉積(Plasma CVD)金剛石膜生長過程原子尺度層次的三維動態可視化KMC (Kinetic Monte Carlo) 仿真軟件、金剛石顯微組織層次柱晶競爭生長仿真軟件。在國內首次實現等離子體CVD金剛石膜同質外延生長過程與產物形貌原子尺度動態可視化仿真，給出了膜沉積速率、表面粗糙度以及點缺陷濃度在膜形成過程中的...

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