分子組裝薄膜及其對微機電系統的潤滑研究

2003年

應用技術

成果簡介

研究了分子組裝有機潤滑薄膜對微機電系統的粘著、磨損、運行壽命的影響，探討了微系統用材料的表面離子束和化學氧化處理及組裝薄膜分子間的化學交聯對提高微系統抗磨損性能和使用壽命的影響。揭示了影響微系統潤滑防護的多種因素，提出微機電系統在多種條件下的潤滑失效機理。研究結果將為解決相關分子尺度的潤滑防護問題提供理論依據和技術保障。...

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分子組裝薄膜及其對微機電系統的潤滑研究

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