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    低溫等離子體中離子輸運(yùn)特性對(duì)薄膜生長的影響

    2001年 應(yīng)用技術(shù)
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    設(shè)計(jì)了離子收集系統(tǒng),成功測(cè)量了在磁鏡場(chǎng)中等離子體能量分布、等離子體溫度等微觀輸運(yùn)特性參數(shù)。利用蒙特卡羅方法計(jì)算了外磁場(chǎng)對(duì)等離子全輸運(yùn)過程的影響,結(jié)果表明利用外磁場(chǎng)可大大增加電子和離子的密度等。詳細(xì)考慮了基底表面吸附粒子與最近鄰和次近鄰粒子間的相互作用,首次研究了等離子體近表面離子能量對(duì)薄膜生長初期形貌的影響,結(jié)果表明低能離子照射增加了吸附粒子表面擴(kuò)散能力,改善了薄膜生長過程;隨離子能量升高...

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