塵埃粒子與低氣壓等離子體鞘層相互作用研究

2001年

應用技術

成果簡介

塵埃粒子污染是大規模集成電路等離子體加工制造中急待解決的基本問題。我們開展塵埃粒子與等離子體鞘層相互作用研究取得一些新的重要研究成果。研究發現陰極發射的電子束能使塵埃粒子在整個鞘層帶負電，塵埃粒子的二次電子發射導致相同大小塵埃粒子能被捕獲在鞘層不同位置。負脈沖電壓塵埃等離子體鞘層的時空演化研究表明，塵埃粒子存在使鞘層邊界擴展速度更快，也使注入工件的離子流增加。研究被捕獲在陰極鞘層中的塵埃粒...

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塵埃粒子與低氣壓等離子體鞘層相互作用研究

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