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    微波近場(chǎng)掃描顯微鏡及其應(yīng)用

    2002年 應(yīng)用技術(shù)
    • 成果簡(jiǎn)介
    設(shè)計(jì)并建立了國(guó)內(nèi)第一臺(tái)微波近場(chǎng)顯微鏡。可以工作在80-300K,空間分辨率達(dá)到微米量級(jí),與國(guó)際上最好水平相當(dāng)。采用有限差分和有限元方法分析了微波近場(chǎng)顯微鏡,建立了微波近場(chǎng)顯微鏡成像理論。利用微波近場(chǎng)顯微鏡系統(tǒng)對(duì)介質(zhì)、鐵電、半導(dǎo)體、金屬及超導(dǎo)材料薄膜和器件的微波性能進(jìn)行了深入地研究,建立了材料微波介電常數(shù)、介質(zhì)損耗和表面電阻空間分布的清晰圖像,許多研究結(jié)果屬國(guó)際上首次報(bào)道。微波近場(chǎng)顯微鏡的建...

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