硅基超薄介質膜的掃描探針顯微術研究

2002年

應用技術

成果簡介

本項目利用超高真空掃描探針顯微術對硅材料表面超薄介質膜的形成過程，表面結構以及物理性質進行了研究，內容包括：低粗糙度硅襯底表面的獲得及其掃描隧道顯微術表征，硅基超薄Si氧化膜的干氧氧化法制備，表面結構，氧化過程對表面粗糙度的影響及熱穩定性研究，這對半導體微電子器件的發展具有十分重要的指導意義，鑒于半導體工業的發展趨勢，我們還進行了高介電常數稀土金屬氧化外薄膜生長研究的前期工作，主要采用電子...

相關成果

1. 高介電系數硅基鈦酸鍶鋇鐵電多層膜的研究
2. 掃描探針顯微集成系統的研制
3. 弱酸條件下形貌規則SBA-16硅基介孔材料的合成
4. 非探針掃描近場光學顯微成像術研究
5. 掃描探針顯微鏡上的觀察裝置
6. 掃描探針顯微鏡上的觀察裝置
7. 用于雙光子熒光掃描顯微術的超分辨衍射器件的研究
8. 模塊化掃描探針顯微鏡
9. 模塊化掃描探針顯微鏡
10. 基于掃描隧道顯微術的電化學微細加工機理和方法研究
12. 用于掃描探針顯微裝置上的觀察顯微鏡
13. 硅基發光材料研究
14. 硅基微泵的開發
15. 列陣式掃描探針電導率測定儀
16. “準球形”硅基鈦白
17. 應用激光掃描共聚焦顯微術對腦脊液細胞器（線粒體、內質網）的研究
18. 在掃描探針顯微鏡及其針尖上沉積薄膜的方法
19. 大面積掃描探針顯微鏡(LS-SPM)
20. 石英晶振電極上的掃描探針電化學多參數分析與研究

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

硅基超薄介質膜的掃描探針顯微術研究

標簽云

猜您想要的成果

相關專家

相關機構


	選擇導出文檔的格式關閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關閉發送短信成功


	提示信息關閉發送短信失敗


	提示信息關閉發送郵件失敗


	提示信息關閉郵件發送成功