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微構件的精度設計理論與方法研究

2001年

應用技術

成果簡介

運用數理統計方法，對微尺寸段內的微加工誤差進行了分析，獲得了描述微構件加工誤差的圖表，初步建立了微制造精度的數學模型。對微孔的光學特性進行了理論分析和實驗驗證，建立了微孔的透光特性與尺寸的關系，初步實現了用微功能精度與微制造精度的比值（協調因子）來選擇材料和加工方法。研究了微構件誤差的測量方法和實現條件以及參數化評定理論與方法。開發了微構件的CAD設計軟件。共發表學術論文8篇，其中有2篇被...

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微構件的精度設計理論與方法研究

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