硅微機械動構件間的摩擦學特性與傳力效率

2001年

應用技術

成果簡介

以磨擦學系統和磨擦學設計的觀點與方法，對基于表面硅微工藝所開發的薄膜平面型微機械結構，用實物實驗和數值分析手段，研究力和運動傳遞過程中各動構件的尺度效應對磨擦機理和磨擦學基本參數的影響；建立了微諧振器的五次超靜定力學模型，探討了微尺度條件下間隙流體阻力、表面粘附阻力和靜電阻力的微磨擦機理問題；對比試驗了工藝參數對微機手傳力效率的影響和微磨擦力對滑塊與拉簧運動的影響。動件運動速度、名義面積，...

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硅微機械動構件間的摩擦學特性與傳力效率

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