電子薄膜傳熱性能測量及分析研究

2001年

應用技術

成果簡介

薄膜傳熱性能對微電子設備的傳熱能力及其性能和可靠性有重大影響。本課題依據傳熱學理論，建立薄膜試樣在穩態和瞬態下傳熱的數學模型。采用實驗測量和理論分析相結合的方法。獲得薄膜導熱系數、發射率、熱擴散率及比熱的計算公式，并進一步研究薄膜厚度、溫度及淀積方法對薄膜傳熱性能的影響。研究成果可為微電子電路的設計和發展提供科學依據。...

相關成果

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電子薄膜傳熱性能測量及分析研究

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