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    低能氮離子注入金剛石薄膜的氮化改性研究

    2003年 應用技術
    • 成果簡介
    本項目用氮離子注入和脈沖放電氮化金剛石膜,然后在氮化表面生長碳氮膜并研究其物理和光學特性。我們自行研制的離子束源,其原子離子的比例大于99%,遠高于商用離子源。離子注入在金剛石表面有效地形成了beta-C3N4,然后用弧熱氮原子束結合激光燒蝕石墨在氮化金剛石表面外延生長了beta-C3N4薄膜,首次在國際上得到了與理論計算符合得很好的Raman光譜,對證明b-C3N4合成的可能性具有重要意...

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