光電集成傳感技術(shù)集激光技術(shù)、微電子器件和微機(jī)械裝置與一體。
1、激光自混合效應(yīng)及有源傳感技術(shù)——系統(tǒng)地研究了激光自混合效應(yīng)的理論及干涉?zhèn)鞲屑夹g(shù),研究激光自混合干涉?zhèn)鞲械闹匾碚摵完P(guān)鍵技術(shù):
(1)激光自混合干涉信號(hào)調(diào)制和解調(diào)的方法;
(2)激光自混合散斑干涉原理和測(cè)速技術(shù);
(3)激光自混合干涉測(cè)量微位移和微輪廓的關(guān)鍵技術(shù)(用于微...
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