2007年 應(yīng)用技術(shù)
該設(shè)備基本上達到了國外同類爐型產(chǎn)品的性能，其總體技術(shù)水平，也達到了與國外同類型產(chǎn)品相當(dāng)。在國內(nèi)具有領(lǐng)先水平，填補國內(nèi)空白，打破國外技術(shù)封鎖，完全可以滿足國內(nèi)6英寸砷化鎵單晶生長的需要。該樣機較好地解決了9.6Mpa高壓密封無泄漏結(jié)構(gòu)設(shè)計與制造技術(shù)，實現(xiàn)了大功率、高精度、三溫區(qū)爐溫控制系統(tǒng)的設(shè)計與制造，配置了高精度上稱重系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計與制造技術(shù)。特別是該樣機自動化程度高，實現(xiàn)計算機控制，設(shè)備...
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