直徑6英寸半絕緣砷化鎵單晶生長技術研究

2007年

應用技術

成果簡介

建成了具有國際先進水平的砷化鎵單晶材料研發和批量生產技術平臺。掌握了大直徑砷化鎵單晶從研究到生產的重復穩定性、可靠性及成品率等各項實用化關鍵工藝技術；攻克了一系列產業化關鍵技術問題，Φ3英寸、Φ4英寸的半絕緣砷化鎵單晶以實用化生產。在大直徑Φ6英寸SI-GaAs單晶生長工藝技術的研發方面取得了突破性進展，研究掌握了穩定、批量、重復生長高成品率大直徑半絕緣砷化鎵單晶的熱腸設計及生長工藝技術。...

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