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    一種納米級庫侖島結構的制備方法

    2006年 應用技術
    • 成果簡介
    本發明公開了一種納米級庫侖島結構的制備方法，包括：
    A、在襯底的導電層上涂敷電子抗蝕劑；
    B、對涂敷的電子抗蝕劑進行前烘；
    C、對電子抗蝕劑進行電子束直寫曝光；
    D、對曝光后的抗蝕劑進行顯影；
    E、對顯影后的電子抗蝕劑進行定影；
    F、將定影后的電子抗蝕劑作為掩模刻蝕導電層...
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