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一種光路折疊式波導光開關陣列及其方法

2006年

應用技術

成果簡介

　　本發明涉及信息光電子技術領域，一種光路折疊式波導光開關陣列及其方法。包括：各級2×2光開關單元；各級2×2光開關單元之間的連接光波導；對連接光波導進行90°轉折的若干組微型全內反射鏡；光開關驅動電極。
　　在工藝上，這種光路折疊式波導光開關陣列由于需要的芯片尺寸比傳統的采用S型彎曲波導連接結構的光開關陣列小若干倍，因此對刻蝕波導工藝均勻性的要求大大降低。在光纖耦合封裝工藝上，由于光...

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