鎵砷基量子級聯(lián)激光器管芯單元結(jié)構(gòu)及其制造方法

2005年

應用技術(shù)

成果簡介

　　一種鎵砷基量子級聯(lián)激光器管芯單元結(jié)構(gòu)，包括：一襯底；一下覆蓋層，該下覆蓋層生長在襯底上；一下波導層，該下波導層生長在下覆蓋層上，該下波導層的兩側(cè)形成有一低于中間部位的臺階，中間為脊形；一有源層，該有源層生長在下波導層上的中間部位；一上波導層生長在有源層上；一上覆蓋層生長在上波導層上；一隔離層淀積在上覆蓋層上并覆蓋脊形的兩側(cè)及下波導層兩邊的上面，該隔離層的中間縱向開有一電流注入窗口；一上歐姆接觸...

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