光子微結構GaN基藍光發光二極管的制作方法

2005年

應用技術

成果簡介

　　一種光子微結構GaN基藍光發光二極管的制作方法，包括如下步驟：首先在GaN樣品上表面生長一層二氧化硅層，作為刻蝕GaN材料的掩模層；在二氧化硅掩模上旋涂上一層光刻膠，需要是對所用激光感光的光刻膠；取一短波長激光器作為光源，將短波長激光器激光用擴束透鏡擴束，擴束后的光再經會聚透鏡聚焦，然后照射在光子微結構模板上，光子微結構模板在會聚透鏡后，二者間距離ZT，該模板采用電子束曝光技術制作的模板，其上...

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