微機械陀螺儀封裝真空度檢測裝置

2007年

應用技術

成果簡介

本實用新型公開了一種微機械陀螺儀封裝真空度檢測裝置，涉及微電子機械技術領域一種封裝真空度檢測儀。它由陶瓷外殼、蓋板、加熱絲、熱偶絲組成。它采用在低真空狀態下，對熱偶式規管的加熱絲通以一定的加熱電流，熱電偶產生的熱電勢取決于周圍氣體的壓強，達到真空度檢測的目的。本實用新型不需真空計，具有結構簡單，操作容易，成本低等特點，特別適合微慣性小型器件低真空封裝腔體內真空度測試。
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微機械陀螺儀封裝真空度檢測裝置

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