2007年 應(yīng)用技術(shù)
一種改進(jìn)的化學(xué)機(jī)械拋光方法，包括以下步驟：(1)配置拋光液：在拋光液中加入聚合物粒子，所述的聚合物粒子在拋光液中呈分散性，所述的聚合物粒子與拋光液的磨粒之間存在靜電力吸引，所述的聚合物粒子的粒徑比磨粒的粒徑大；(2)拋光：將拋光液輸送到拋光盤(pán)中，對(duì)載樣盤(pán)中的工件進(jìn)行拋光，所述拋光盤(pán)采用硬質(zhì)材料制成，所述的硬質(zhì)材料與拋光液的化學(xué)物質(zhì)無(wú)化學(xué)反應(yīng)。本發(fā)明提供一種有效減少磨損、避免工件周邊產(chǎn)生塌邊...
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