新的碳化硅發熱元件制備技術

2007年

應用技術

成果簡介

　　針對目前碳化硅發熱元件制造方法存在的不足，本成果提出了一種新的制備發熱元件冷端部、發熱部，以及無需焊接一次成型的碳化硅發熱元件的制造方法。通過合理調整配方中碳化硅的顆粒組成以及組份比例，合理控制一次與二次燒結工藝條件，使得碳化硅發熱元件制備工序減少，冷端和發熱部電阻比可控，得到的冷端部致密，氣孔率低，其主晶相為α-碳化硅、β-碳化硅和游離硅，氣孔率＜1%；發熱部主晶相為α-碳化硅和氣孔，游離硅...

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新的碳化硅發熱元件制備技術

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