微驅動結構的變位增幅裝置及其制造方法

2007年

應用技術

成果簡介

一種微型機電系統技術領域的微驅動結構的變位增幅裝置及其制造方法。本發明裝置中，靜電式梳狀微驅動器是組成變位增幅裝置的基本部件，它是由相對成叉指狀的固定梳齒部分與可動梳齒部分組成，彈簧梁與增幅部分相連組成結構的增幅杠桿，可動梳齒通過細梁與彈簧梁的上下兩端分別相連，支點位于彈簧梁的中間。
制造方法為：首先預制掩模板，將設計好目的結構圖案遷移在SOI晶片表面；其次用感應耦合反...

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微驅動結構的變位增幅裝置及其制造方法

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